化學(xué)儀器模板

NOVACAM TM 3D 計(jì)量系統(tǒng)可靠地表征具有高縱橫比特征的表面，例如臺(tái)階、凹槽、通道和溝槽。

該系統(tǒng)提供：

• 非接觸式共線掃描：發(fā)射和接收的光信號(hào)沿著相同的路徑傳播。無(wú)需三角測(cè)量

• 高速表面采集：每秒 2,100 到 100,000 個(gè) 3D 點(diǎn)

• 亞微米分辨率

• 比三角測(cè)量傳感器和彩色共焦系統(tǒng)具有更高的靈敏度

與三角測(cè)量技術(shù)相比，共線掃描可以更好地測(cè)量高縱橫比特征

具有高縱橫比通道的燃料電池雙極板

應(yīng)用：用于晶圓拋光的 CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）墊的測(cè)量。CMP 墊是由多孔聚合物材料制成的消耗品，并帶有高縱橫比通道圖案。凹槽（通道）的位置、寬度和深度嚴(yán)重影響 CMP 工藝性能。

NOVACAM 3D 計(jì)量系統(tǒng)用于在制造過(guò)程中測(cè)量 CMP 墊槽的幾何形狀，其中測(cè)量過(guò)程直接集成到 CMP 墊加工站中。在這里，它們有助于優(yōu)化鉆頭更換時(shí)間，降低流程成本。一旦部署在 CMP 過(guò)程中，墊也可以用相同的系統(tǒng)測(cè)量，以測(cè)量 CMP 墊條件并確定墊調(diào)節(jié)的最佳時(shí)間。

計(jì)量系統(tǒng)：OPTICAL 3D PROFILOMETER 系統(tǒng) （用于線掃描） 或   SURFACEINSPECT 系統(tǒng)（用于高效區(qū)域掃描）

更多詳細(xì)信息：   CMP 墊 應(yīng)用頁(yè)面的 3D 計(jì)量

應(yīng)用：噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪定子葉片上的 EDM 加工盲密封槽。槽長(zhǎng)約 30 毫米（1.2 英寸），寬 0.4 毫米（0.0157 英寸），深約 1.8 毫米（0.07 英寸）。

計(jì)量系統(tǒng)：SURFACEINSPECT系統(tǒng)

更多詳細(xì)信息：EDM 和激光加工應(yīng)用頁(yè)面的 3D 計(jì)量

應(yīng)用：邊緣半徑測(cè)量

測(cè)量系統(tǒng)： EDGEINSPECT系統(tǒng)

更多詳情： 邊緣半徑測(cè)量應(yīng)用頁(yè)面